真空法兰是真空系统中使用的一种小装置,它使用许多管道和管道,其主要目的是将管道相互连接和互连,或者将管道连接到腔室。法兰通常看起来像一个边缘,其周长比实际连接的管道大。法兰边缘也有小孔,有助于将真空法兰与管道和腔室开口连接起来。
O形环可用于密封连接。通常,真空法兰可以是固定式的,也可以是旋转式的。固定式法兰通常有四到五个孔,正好可以插进管子的孔或是腔室的开口中。然而,可旋转的法兰通常有更多的孔,因此,即使管道工朝任一方向旋转法兰,这些孔仍然可以与管道上的孔对齐然后用螺丝拧紧的螺栓填充孔,将法兰和管道连接起来。真空法兰也可以焊接到管道系统上,以确保压力不会通过小孔逸出真空系统。钢是制造真空法兰最常用的材料之一,由于合金长期以来被认为是非常耐用的。钢的变体可能是不锈钢或碳,使法兰更耐生锈和高温。铜、青铜、黄铜和铝也被用作制造材料。真空法兰也可以由非金属材料制成,如玻璃、陶瓷,所有这些材料都是耐用的,可以经受水,热,冷,甚至压力。真空法兰有很多种类和标准尺寸。其中之一就是快速法兰(QF),有时被称为Klein法兰(KF)。QF通常被固定在与管道相连的管夹上。然后在法兰最终用螺栓固定之前,放置一个O形环,一个类似塑料的圆盘来密封任何开口QF有四种尺寸,从0.629英寸(16毫米)到1.968英寸(50毫米)不等。对于较大的法兰,国际标准化组织(ISO)发布了LF或"大法兰"。LF型有八种不同尺寸,最小的为2.5英寸(63.5毫米)。中型真空法兰的直径为7.87英寸(200毫米),而LF的最大直径为19.68英寸(500毫米)。与QF一样,真空法兰还配有O形环,并连接到管夹上。另一种真空法兰是"ConFlat",或CF,它看起来像是一个将两个管道连接在一起的垫圈在适当的地方,碳纤维用螺栓固定在管道周围,没有任何泄漏的空间。CG真空法兰通常用于"超高"真空系统。

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