透射电子显微镜(TEM)是一种成像技术,其中电子束通过非常薄的切片样品,当电子穿过样品并与其结构相互作用时,图像被放大并聚焦在成像介质上,如照相胶片或荧光屏,或由于透射电子显微镜中使用的电子波长很小,因此TEMs比传统的依靠光束的光学显微镜具有更高的分辨率,因此TEMs在病毒学、癌症研究等领域发挥着重要作用,材料的研究和微电子技术的研究和开发。
一个电子环绕其运行的原子。第一个TEM原型于1931年建成,到1933年,一个分辨率大于光的单元已经用棉纤维的图像作为试件进行了演示透射电子显微镜的成像能力得到了改进,使这项技术在研究生物标本方面变得有用。1939年德国引进第一台电子显微镜之后,第二次世界大战推迟了进一步的发展,其中一个重点实验室被炸毁,两名研究人员死亡。战后,第一台放大100千倍的电子显微镜问世。它的基本多级设计仍然可以在现代透射电子显微镜中找到。随着瞬变电磁技术的成熟,一种相关的技术,扫描透射电子显微术(STEM)在20世纪70年代得到了改进。场发射枪和改进的物镜的发展使得利用STEM对原子进行成像成为可能。STEM技术的发展很大程度上源于透射电子显微术的进步TEM通常包括三个透镜级:聚光透镜、物镜和投影透镜。初级电子束由聚光透镜形成,物镜聚焦穿过样品的光束。投影透镜使光束膨胀并投射到成像设备上,例如电子屏幕或胶片。其他特殊透镜用于校正光束畸变。能量过滤也用于校正色差,由于透镜不能在同一会聚点上聚焦光谱的所有颜色而引起的一种畸变。虽然不同的透射电子显微镜系统的设计不同,它们有几个共同的组成部分和阶段。第一个阶段是真空系统,产生电子流,并结合静电板和透镜,操作员可以用这些板和透镜引导光束。样品级包括气闸,允许将研究对象插入流中。这一阶段的机制允许将样品定位在最佳视角。电子枪用于"泵送"电子流通过TEM。最后,电子透镜,作用类似于光学透镜,再现物体平面。

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